http://warm-ir-heater-ray.com/ja/tags/%E5%A4%AA%E9%99%BD%E5%85%89%E7%99%BA%E9%9B%BB%E3%81%AE/ Recent content in 太陽光発電の on Warm IR Heating Rays Hugo ja Tue, 02 Jun 2026 03:52:50 +0800 http://warm-ir-heater-ray.com/ja/posts/photovoltaic-silicon-wafer-heater/ Tue, 02 Jun 2026 03:52:50 +0800 http://warm-ir-heater-ray.com/ja/posts/photovoltaic-silicon-wafer-heater/ <p><img src="http://warm-ir-heater-ray.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="太陽光発電用シリコンウェハーヒーター"></p> <p>ファブフロアではご存知の通りです。フォトレジストのベーク<a href="https://o-yate.net">温度</a>が0.5℃ずれると、クリティカル寸法がずれてしまい、多くのウェハを廃棄することになります。当社は、このフォトボルタイクシリコンウェハヒーターを開発し、シフトごとにリソグラフィウィンドウ内の熱挙動を安定させています。</p> <p><strong>内部の重要ポイント</strong><br> 短波長赤外線素子を使用しているため、応答が速く直接的です。アクティブエリア全体でウェハレベルの均一性は±0.1℃、設定温度は0.2℃以内で再現されます。これにより、ソフトベークとハードベークのプロファイルが毎回同じ結果をもたらします。<br> ヒーター本体はクォーツと高純度セラミック製で、パーティクルの発生はありません。クリーンルームクラス1～100に対応しています。156～210 mmウェハに合わせてパワー<a href="https://henruite.com">密度</a>を調整し、ウェハの熱予算を考慮した立ち上がり制御を備えています。</p>