http://warm-ir-heater-ray.com/ja/tags/%E5%AF%BE/ Recent content in 対 on Warm IR Heating Rays Hugo ja Thu, 18 Jun 2026 01:10:07 +0800 http://warm-ir-heater-ray.com/ja/posts/infrared-vs-convection-for-wafer-drying/ Thu, 18 Jun 2026 01:10:07 +0800 http://warm-ir-heater-ray.com/ja/posts/infrared-vs-convection-for-wafer-drying/ <p><img src="http://warm-ir-heater-ray.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="ウェーハ乾燥における赤外線と対流の比較"></p> <p>300mmラインでは、計画外の停止や粒子の発生が大きな問題となります。長年にわたり<a href="https://goldisgood.com">対流式</a>オーブンが乾燥や焼成の役割を果たしてきましたが、その速度は遅く、温度のばらつきも生じやすく、また空気の流れによって粒子が舞い上がり、<a href="https://o-yate.net">製品</a>の品質が低下することもあります。プロセスの時間や温度が<a href="https://o-yate.com">秒単位</a>で管理される中で、赤外線技術は迅速で直接的かつクリーンな加熱を実現します。</p> <p>技術的に重要なのは、熱がどのように伝わるかという点です。赤外線乾燥では、短波または中波の放射体を使用してウェハ表面に直接熱を与えるため、迅速かつ均一な加熱が可能です。これにより、ウェハ全体で±0.1℃以内の均一性が保たれ、繰り返し行っても同じ結果が得られます。また、ドアを開けた後でも数秒以内に温度が回復します。循環ファンがないため、クリーンルームのクラス1～100を実現でき、光学路も密閉されているため、粒子の発生もほぼゼロに抑えられます。エネルギー消費も減少し、エネルギーはウェハに直接使われ、チャンバーの壁や空気には使われません。</p>