http://warm-ir-heater-ray.com/ja/tags/%E6%A4%9C%E6%9F%BB/ Recent content in 検査 on Warm IR Heating Rays Hugo ja Mon, 01 Jun 2026 17:50:23 +0800 http://warm-ir-heater-ray.com/ja/posts/semiconductor-inspection-tool-heater/ Mon, 01 Jun 2026 17:50:23 +0800 http://warm-ir-heater-ray.com/ja/posts/semiconductor-inspection-tool-heater/ <p><img src="http://warm-ir-heater-ray.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="半導体検査装置用ヒーター"></p> <p>ファブフロアでは状況は明白です。検査段階で0.5°Cのドリフトが発生すると、フォトレジストのプロファイルが移動し、CDバイアスが変化、結果としてリワークが必要なロットが発生します。熱は予測不能な要素であってはならず、制御されたプロセスパラメータとして機能しなければなりません。</p>