製造工程における乾燥部門のエネルギー診断

長い間、製造現場で働けば、些細なことにも注意を払うようになります。ウェーハの乾燥処理にかかるエネルギーは、スプレッドシートに示されている数値よりも多くなることがあります。また、熱変動によってフォトレジストの品質が損なわれることもあります。私たちはこれらの問題を頻繁に目にします。ソフトベイクやハード...