http://warm-ir-heater-ray.com/ja/tags/%E9%96%8B%E7%99%BA%E8%80%85/ Recent content in 開発者 on Warm IR Heating Rays Hugo ja Wed, 24 Jun 2026 01:03:51 +0800 http://warm-ir-heater-ray.com/ja/posts/coater-developer-infrared-heater/ Wed, 24 Jun 2026 01:03:51 +0800 http://warm-ir-heater-ray.com/ja/posts/coater-developer-infrared-heater/ <p><img src="http://warm-ir-heater-ray.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="コーター用現像剤用赤外線ヒーター"></p> <p>リソグラフィーの工程では、温度変動から逃れることはできません。わずかな温度のずれでも、ウェーハ<a href="https://goldisgood.com">全体</a>にわたって寸法誤差が生じます。コーティング剤を塗布した後の処理工程では、オーブンが温度を<a href="https://o-yate.com">安定</a>させる間も停止しません。もしヒーターが設定温度を安定して維持できなければ、フォトレジストの特性が変わり、結果として不良率が上がってしまいます。</p> <p><strong>私たちが開発したものと、その重要性</strong> 私たちは、応答速度と制御精度を重視して、短波ランプと石英を利用した赤外線ヒーターを開発しました。これにより、ウェーハ全体の温度均一性は±0.1℃以内に保たれ、その結果、ソフトベイクやハードベイクの効果がバッチごとに一定に保たれます。また、この装置はクラス1～100の清浄室で動作します。なぜなら、部品の構造によって粒子が発生しないからです。つまり、ガス放出や剥離、フォトレジストへの汚染の心配がありません。信頼性は、24時間365日稼働できるように選ばれた部品と、古いホットプレート方式に比べて温度が安定する熱システムによって保証されます。</p>