http://warm-ir-heater-ray.com/ko/tags/%EA%B0%9C%EB%B0%9C%EC%9E%90/ Recent content in 개발자 on Warm IR Heating Rays Hugo ko Wed, 24 Jun 2026 01:03:51 +0800 http://warm-ir-heater-ray.com/ko/posts/coater-developer-infrared-heater/ Wed, 24 Jun 2026 01:03:51 +0800 http://warm-ir-heater-ray.com/ko/posts/coater-developer-infrared-heater/ <p><img src="http://warm-ir-heater-ray.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="코팅기 개발용 적외선 히터"></p> <p>리소그래피 공정에서는 온도 변동을 피할 수 없습니다. 아주 미세한 온도 차이라도 웨이퍼 전체에 걸쳐 치수 오차로 나타납니다. 코팅 및 현상 공정은 오븐이 온도를 맞추는 동안에도 계속 진행됩니다. 만약 히터가 설정된 온도를 안정적으로 유지할 수 없다면, 포토레지스트의 성질이 변하고 결함 발생 가능성도 높아집니다.</p>