반도체 검사 장비 히터

반도체 제조 현장에서의 상황은 익숙할 것이다. 검사 단계에서 0.5°C의 온도 편차가 발생하면 포토레지스트 프로파일이 이동하고 CD 바이어스가 변하며, 갑자기 재작업이 필요한 웨이퍼가 대량으로 나타난다. 열은 변수로 작용해서는 안 되며, 반드시 제어 가능한 공정 변수...