http://warm-ir-heater-ray.com/ko/tags/%EB%AA%A8%EB%93%88/ Recent content in 모듈 on Warm IR Heating Rays Hugo ko Fri, 26 Jun 2026 01:28:32 +0800 http://warm-ir-heater-ray.com/ko/posts/zoned-infrared-heating-module/ Fri, 26 Jun 2026 01:28:32 +0800 http://warm-ir-heater-ray.com/ko/posts/zoned-infrared-heating-module/ <p><img src="http://warm-ir-heater-ray.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="구역별 적외선 난방 모듈"></p> <p>리소그래피 공정에서 ‘소프트 베이크’와 ‘하드 베이크’는 단순한 가열 과정이 아닙니다. 이는 웨이퍼의 치수를 결정하는 중요한 요소입니다. 웨이퍼의 온도가 2°C만 변해도 중요한 치수들이 변할 수 있으며, 고온 구역에서 발생하는 미세한 입자들도 웨이퍼에 큰 손상을 줄 수 있습니다. 그래서 우리는 오염을 최소화하면서도 핵심적인 부분만을 정확하게 가열할 수 있는 구역별 적외선 가열 모듈을 개발했습니다.</p>