태양광 실리콘 웨이퍼 히터

Fab 라인에서는 상황이 익숙합니다. 포토레지스트 베이크 온도가 0.5°C만 벗어나도 주요 치수가 달라지고, 결국 많은 제품을 폐기해야 할 수 있습니다. 우리는 리소그래피 공정 구간 내에서 열 특성을 일정하게 유지하기 위해 이 광전지 실리콘 웨이퍼 히터를 개발했습니다...