Op de lithografieafdeling betekent een afwijking van 2°C tijdens het zachte bakken van de fotoresist geen acceptabele tolerantie – dit leidt juist tot minder goed eindresultaat. De wafers stapelen zich op, de planning loopt vertraging op, en het aantal deeltjes neemt toe zodra de thermische controle niet meer goed werkt. We hebben de Ruby-infraroodverwarmingsbuis (230V) ontwikkeld om de thermische omstandigheden binnen de gewenste grenzen te houden, shift na shift.
Wat technisch gezien belangrijk is: De Ruby-buis zendt kortegolf-infrarood uit, met een snelle reactietijd en nauwkeurige spectrale controle. Met een spanning van 230V past deze buis gemakkelijk in standaardapparatuur, zonder dat er nieuwe kabels of transformatoren nodig zijn. In het actieve gebied blijft de thermische uniformiteit op het niveau van ±0,1°C, terwijl de herhalbaarheid van cycle tot cycle binnen ±0,5°C ligt. Het kwartsomhulsel en de dopantstructuur van de Ruby-buis zorgen voor minder uitstoot van gassen en minder deeltjesvorming – dit maakt het mogelijk om te werken in een schone ruimte van klasse 1–100. We hebben deze apparaten al meer dan 5.000 uur continu gebruikt, met minder dan 5% daling in de prestaties. De constructie van het filament zorgt voor stabiele weerstand tijdens thermische cycli.
Waarom het werkt in de productie: Tijdens het verwerken van fotoresist zorgt het zachte bakken voor verdamping van oplosmiddelen en wordt de spanning in het filmpje gereguleerd. Het harde bakken zorgt er weer voor dat het patroon vastligt voordat het wordt geëtst. De Ruby-buis stabiliseert beide stappen, waardoor er minder hotspots ontstaan en de randen minder overbelast raken. Het resultaat is een betere controle over de dikte van het filmpje, minder herwerkingswerk en consistentie in de breedte van de lijnen. De energieverbruik neemt af, omdat de warmte op demand wordt geleverd in plaats van dat er een grote hittebron wordt gebruikt. Dit leidt tot lagere kosten per wafer en minder ongeplande stilstanden.
Fieldnotes: De installatie is eenvoudig, maar het is belangrijk om de buis op de juiste afstand van de focale afstand te plaatsen. Als dit niet gebeurt, neemt de uniformiteit af en ontstaan er lokale hotspots. Controleer regelmatig de conditie van de reflector en maak de sokkel schoon als onderdeel van de reguliere onderhoudsactiviteiten. Het gebruik van een lagere spanning kan de levensduur verlengen, maar dit verlengt ook de opwarmtijd en kan de bakprofielen veranderen. Houd je dus aan de gekalibreerde spanning voor elke procedure.