Stop met het verspillen van energie in je waferproces
Laten we eerlijk zijn: in een fabriek betekent het verspillen van energie eigenlijk dat je geld weggooit.
De meeste standaard IR-lampen zijn behoorlijk inefficiënt. Ze stralen energie in alle richtingen uit – dat betekent dat de helft van de energie niet wordt gebruikt voor het verhitten van het product, maar juist voor het verhitten van de lucht of het machineframe.
We lossen dit op door gebruik te maken van goud. Niet vanwege het uiterlijk, maar vanwege de fysica. Door een laag hoogzuiver goud op de achterkant van de kwartsomhulling te plaatsen, zorgen we erin feite voor dat al die infraroodenergie rechtstreeks naar voren wordt gestuurd.
Hoe het werkt
Goud is uitstekend in het omgaan met infraroodstraling. Het weerkaatst meer dan 98% van deze golflengten. Stel je het voor als een spiegel: wanneer het wolfraamfilament begint te werken, vangt de goudlaag de warmte op die anders naar achteren zou gaan, en stuurt deze rechtstreeks naar de wafer.
Het beste van alles? Je krijgt meer warmte op het substraat, zonder dat je de elektriciteitsrekening hoeft te verhogen. Je maakt gewoon gebruik van wat je al hebt, maar op een slimme manier.
De nadelen (want niets is perfect)
Hierdoor kun je de gewenste temperatuur sneller bereiken. De verwerkingstijd wordt korter, zodat je meer wafers per tijd kunt verwerken.
Maar er is ook een nadeel: wanneer je al die energie concentreert in één straal, zal de rand van de wafer hierdoor oververhit raken. Als de indeling niet goed is, ontstaan er hete plekken op de wafer. Je moet ervoor zorgen dat je koelsysteem de extra warmte aankan. Bovendien moet de goudlaag perfect uniform zijn; anders zie je ‘strepen’ op de wafers, wat natuurlijk niet gewenst is.
Hoe je ze in je fabriek kunt gebruiken
We hebben deze lampen zo ontworpen dat ze eenvoudig kunnen worden vervangen door je huidige IR-lampen. Je hoeft je hele systeem niet opnieuw te ontwerpen.
Zodra ze erin zitten, heb je twee mogelijkheden: je kunt de werkingsspanning verlagen zodat de lampen langer meegaan, of je kunt de spanning gehandhaafd laten en de verwerkingstijd verkorten.
Het is een eenvoudige manier om meer werk te krijgen uit elke watt die je gebruikt.