Het veilig houden van de apparatuur bij het gebruik van IR-verwarming in de buurt van vlambare of explosieve chemicaliën
Wanneer je te maken hebt met de natte reiniging van halfgeleiders, worden IR-verwarmingslampen vaak geplaatst middenin kamers die gevuld zijn met brandbare of explosieve dampen. Het is een spannende situatie: één kleine vonk of fout in de isolatie kan tot een grote ramp leiden.
Daarom kijken we niet alleen naar de vermogenswaarde van de lampen. We letten ook goed op de manier waarop ze worden afgesloten. Het geheim zit in de afsluiting. We gebruiken een dubbellaags afsluitingsmechanisme om te voorkomen dat de elektrische contactpunten in contact komen met de chemicaliën. Het grootste probleem is meestal de plek waar de bedrading in het kwarts omhulsel komt. Hiervoor gebruiken we hermetische glas-naar-metaalafsluitingen en speciale composten die hoge temperaturen kunnen verdragen zonder te reageren op chemicaliën.
Het is vrij simpel: als die corrosieve dampen in het circuit terechtkomen, ontstaat er een kortsluiting. Onze afsluitingen zorgen ervoor dat het halogengas binnenin de lamp blijft en de schadelijke chemicaliën buiten blijven.
Het bestrijden van chemische invloeden
Als de materialen de omgeving niet aankunnen, zullen ze snel verslechteren. We gebruiken kwarts van hoge zuiverheid met speciale coatings, zodat de lampen niet bedekt raken door vuile stoffen of worden aangetast door reinigingsmiddelen. Het probleem is dat zodra het kwartsoppervlak beschadigd raakt, de warmte niet meer gelijkmatig wordt verspreid. Hierdoor ontstaan er hete plekken op de wafer, wat juist moet worden vermeden. We kiezen voor coatings die de warmtestroom over het hele oppervlak gelijkmatig laten verdelen.
De compromissen (want niets is gratis)
Deze veiligheidsmaatregelen maken de lampen echter wat groter. De afsluiting zorgt er ook voor dat de lampen wat langer worden. Je moet dan misschien de afstand tussen de lampen aanpassen zodat ze nog passen. Bovendien blokkeren deze beschermende coatings een deel van de IR-straling vergeleken met een gewone buis. Je hebt waarschijnlijk meer stroom nodig of de wafer langer in contact moeten blijven met de warmte om de gewenste temperatuur te bereiken.
En ten slotte: zorg ervoor dat je gebruikmaakt van explosiebestendige kabels. Op deze manier kun je alle veiligheidsmaatregelen naleven.