Temperatuursensor voor wafer tools
Waarom we overstappen op IR-opdroging voor loodvrije semiconductoren Het ontwerpen van wafergereedschap is tegenwoordig best een uitdaging. Door alle...
Verwarmingsapparaat voor halfgeleiderinspectietool
Op de productievloer weet u hoe het gaat: een drift van 0,5°C tijdens de inspectiefase verplaatst het fotoresistprofiel, verandert de CD-bias en...