Wafel on Warm IR Heating Rays

Precisier IR sensor voor wafer

Mon, 27 Jul 2026 16:49:23 +0800

Stop met het riskeren dat één kapotte lamp al je producten bederft.
In een fabriek waar veel wordt geproduceerd, is het niet alleen storend wanneer één lamp kapotgaat – het is zelfs een nachtmerrie. Wanneer de kwartskraag van de lamp kapotgaat, raak je niet alleen je warmtebron kwijt, maar ook alle stukjes glas en halogengas die op je wafels terechtkomen. Eén kapotte lamp betekent dat al je producten verloren gaan. Het is een vreselijke manier om een dag’s werk te verliezen.

Temperatuursensor voor wafer tools

Mon, 27 Jul 2026 16:42:25 +0800

Waarom we overstappen op IR-opdroging voor loodvrije semiconductoren

Het ontwerpen van wafergereedschap is tegenwoordig best een uitdaging. Door alle nieuwe regels voor loodvrije en milieuvriendelijke producten, staan de droogings- en opdroogingsstappen onder grote druk. De meeste mensen gebruiken nog steeds die ouderwetse convectiekasten, maar dat zijn eigenlijk gewoon enorme verwarmers die de hele ruimte opwarmen. Het is energieverbruik, en eerlijk gezegd is het ook een goede manier om het substraat per ongeluk te vervuilen.

Daarom gebruiken wij IR-opdroging. Dat is veel logischer.

Reflector voor wafer afdrooglamp

Wed, 15 Jul 2026 13:44:28 +0800

Stop de gebroken stukjes glas: waarom het ontwerp van de reflector belangrijk is
Bij het drogen van wafers onder hoge belastingen betekent het uitvallen van een lamp niet alleen extra werk of ongeplande stilstand. Het is een nachtmerrie.
Wanneer een kwartslamp kapotgaat, vallen er glasscherven en halogeenresten op de siliciumwafels terecht. Eén enkele storing kan al leiden tot het verwoesten van een hele lading wafels. Daarom behandelen we de reflector niet zomaar als een spiegel – we zien hem eerder als een schild.
Het geheim zit in de vorm.
We gebruiken een diep gevormde reflector met coating van hoogwaardig aluminium of goud. Het doel is om zoveel mogelijk warmte precies daarheen te dirigeren, waar het nodig is: op de wafel.
Omdat de warmtestroom zo goed gericht is, kan je de vermogenssterkte verminderen zonder dat de oppervlaktetemperatuur van de wafel daalt. En dat is het voordeel: minder vermogen betekent minder stress op de kwartslamp. Minder stress betekent minder defecten. Simpel toch?
Omgaan met de hoge temperaturen
Bij hoge productievermogens wordt het erg heet. Heel heet zelfs.
Als de reflector geen mogelijkheid heeft om te ademen, worden de uiteinden van de lamp te heet en gaan de sluitingen kapot. Om dit te voorkomen, gebruiken we anodebehandelingen en maken we speciale openingen zodat de lamp koel kan blijven.
Je zult merken dat we de tolerantie rondom de lampkoppen niet te strak instellen. Dat doen we expres. Glas expandeert wanneer het heet wordt; als er geen ruimte is voor beweging, zal de mechanische druk uiteindelijk de lamp beschadigen.
De eerlijke compromissen
Het is waar dat het toevoegen van een beschermend schild of een diepere reflector het mogelijk vermogen van de lamp verminderd. Je verliest misschien 3-5% van de energie door absorptie.
Maar laten we eerlijk zijn: wanneer je te maken hebt met wafels ter waarde van 50.000 dollar, is het acceptabel om 3% efficiëntie te verliezen, zodat je voorkomt dat je producten bedekt raken met gebroken glas.
Nog één ding: controleer je koelblazers. Zorg ervoor dat ze geschikt zijn voor de afmetingen van de reflector. Als de luchtcirculatie wordt belemmerd, zal de hitte zich ophopen en zullen de lampen sneller defect raken dan nodig is.

Veilige afstand voor waferverwarming

Mon, 13 Jul 2026 17:10:35 +0800

Laten we het hebben over het gebruik van infraroodstraling voor het drogen van chips. We zijn overgestapt op deze methode in plaats van de ouderwetse convectieovens. Waarom? Omdat de ‘groene’ en ‘loodvrije’ standaarden in moderne fabrieken geen aanbevelingen meer zijn – ze zijn regels.

Het grote verschil zit hem in de manier waarop de hitte wordt overgedragen. In plaats van een enorme ruimte met lucht te verwarmen, bereikt de infraroodstraling rechtstreeks het oppervlak van de chip. Het gaat hier om de wetten van de fysica. Stel je voor dat de zon op je huid schijnt op een koude dag: je hoeft niet te wachten tot de lucht om je heen warmer wordt; je voelt de hitte meteen. Infraroodstraling maakt gebruik van elektromagnetische straling om vanuit de lamp rechtstreeks naar de chip te gaan. Er is geen tussenpersoon nodig, en er wordt geen energie verspild aan het verwarmen van grote hoeveelheden stikstof.

HEATER VOOR HET OPDRUKKEN VAN MEMS SENSORENWAFFERS

Thu, 09 Jul 2026 14:53:33 +0800

Inleiding
Laten we het hebben over wat er gebeurt wanneer de drooglijn voor MEMS-sensoren op volle capaciteit draait. De temperatuur wordt verhoogd tot het uiterste, waardoor het systeem onder extreme druk komt te staan.
Stel je eens voor dat een infraroodlamp explodeert. Hij faalt niet alleen, maar breekt ook nog eens in stukken, waardoor scherven over de schijven terechtkomen. Dat is zeker een kostbare puinhoop.
We hebben onze infraroodverwarmer ontworpen om dit soort problemen te voorkomen. Hij is speciaal ontworpen om de benodigde hoge temperaturen te genereren, zonder dat er risico’s zijn op zulke catastrofale fouten.

Waferniveau CSP (Chip Scale Package) verwarmer

Mon, 22 Jun 2026 19:08:34 +0800

Op de lithografieafdeling heeft een 300 mm grote chip geen tijd om te wachten tot de oven klaar is met het verhitten van de chip. Onregelmatigheden in het verhittingsproces leiden tot afwijkingen in de dikte van de lijnen op de chip. Langzaam drogen zorgt weer voor watervlekken, wat de kwaliteit van de chip negatief beïnvloedt. We hebben onze infraroodverwarmer speciaal ontworpen voor deze situaties: snel en gecontroleerd verwarming precies waar het nodig is.

Wat technisch belangrijk is We gebruiken infraroodstraling met een snelle respons en nauwkeurige controle over het spectrum. Hierdoor komt de energie terecht in de fotoresist en de chip zelf, en niet in de apparatuur. Over het hele actieve gebied van de chip is er een uniformiteit van ±0,1°C. Bovendien zijn de parameters voor het verhitten consistent van run tot run.

Technische ondersteuning voor het verwarmen van wafers

Fri, 19 Jun 2026 02:18:30 +0800

Op de productielijn is het voldoende om een verschil van 0,5°C te hebben tussen verschillende delen van de wafer, zodat dit leidt tot afwijkingen in de dikte van de laag die wordt gebruikt in het fotolithografische proces. We hebben deze verhittingsplaat ontworpen om de thermische omstandigheden binnen de gewenste grenzen te houden, shift na shift.

Wat belangrijk is onder de motorkap We behouden een constante temperatuur van ±0,1°C over het hele oppervlak van de wafer. De herhalbaarheid van de ingestelde temperatuur blijft ook binnen deze marge. De plaat is geschikt voor gebruik in een schone werkomgeving (klasse 1–100) en produceert geen vervuilende deeltjes.

Infrarood tegen convectie voor het drogen van wafers

Thu, 18 Jun 2026 01:10:07 +0800

Bij de 300mm-productie is ongeplande stilstand en het voorkomen van deeltjes grote problemen. Conventionele ovens worden al jaren gebruikt voor het drogen en bakken van producten, maar hun verhittingsproces is traag. Bovendien kunnen de luchtvloeden deeltjes veroorzaken, waardoor de kwaliteit van het product niet voldoet aan de vereisten. Wanneer de verwerkingstijd in seconden en graden wordt gemeten, biedt infraroodverwarming een beter resultaat: snel, efficiënt en nauwkeurig.

Wat technisch gezien belangrijk is, is de manier waarop de warmte wordt overgedragen. Infraroodverwarming bereikt rechtstreeks het oppervlak van de chip, met behulp van korte- of middellange golflengten. Hierdoor wordt er snel en controleerder verwarmd. Er wordt een uniforme temperatuur gecreëerd, binnen een marge van ±0,1°C. Ook is het mogelijk om herhaalbaar te bakken en te drogen. Na het openen van de deur kan het systeem zich binnen seconden herstellen. Het is mogelijk om een schone omgeving te creëren (klasse 1–100), omdat er geen circulerende ventilatoren zijn en de optische paden afgesloten zijn. Hierdoor neemt de productie van deeltjes bijna nul toe. Ook wordt er minder energie verbruikt, omdat de energie rechtstreeks naar de chip gaat, in plaats van naar de wanden van de kamer en de lucht.