http://warm-ir-heater-ray.com/ru/tags/%D0%B7%D0%BE%D0%BD%D0%B8%D1%80%D0%BE%D0%B2%D0%B0%D0%BD%D0%BE/ Recent content in Зонировано on Warm IR Heating Rays Hugo ru Fri, 26 Jun 2026 01:28:32 +0800 http://warm-ir-heater-ray.com/ru/posts/zoned-infrared-heating-module/ Fri, 26 Jun 2026 01:28:32 +0800 http://warm-ir-heater-ray.com/ru/posts/zoned-infrared-heating-module/ <p><img src="http://warm-ir-heater-ray.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="Модуль инфракрасного отопления с зонированием"></p> <p>На этапе литографии процессы мягкой и жесткой обработки не являются просто термическими операциями. Это скорее способы контроля размеров деталей на пластине. Изменение температуры на уровне 2°C может привести к изменению критических размеров деталей; к тому же одна-единственная частица, образовавшаяся в зоне высоких температур, может повредить всю партию продукции. Поэтому мы разработали модуль инфракрасного нагрева с зонированным управлением, который позволяет поддерживать необходимую температуру в нужных местах, без привнесения загрязнений.</p> <p>Модуль использует излучатели коротковолнового инфракрасного излучения, расположенные в отдельно управляемых зонах, соответствующих геометрии пластины. На поверхности пластины температура остается стабильной в пределах ±0,1°C, а точность воспроизведения температуры — ±0,2°C между разными партиями продукции. Зона высоких температур остается чистой: для минимизации выделения газов используются кварцевые элементы и отражатели. Благодаря такой конструкции во время стабильной работы не образуется никаких частиц. В чистых комнатах класса 1–100 этот модуль обеспечивает стабильные условия нагрева без увеличения количества частиц. Это позволяет улучшить качество фотополимерного слоя и снизить вариации его параметров внутри одной партии продукции.</p>