Hãy ngừng việc sử dụng các bộ phận gia nhiệt trên thiết bị của bạn đi.
Nếu bạn từng làm việc trong các xưởng sản xuất linh kiện bán dẫn, chắc hẳn bạn hiểu rõ mức độ phiền toái do nhiệt độ không được kiểm soát gây ra. Đó là một mối nguy hiểm thực sự. Hầu hết các bộ phận gia nhiệt thông thường chỉ tản nhiệt ra mọi hướng.
Vấn đề là khi những bộ phận này được lắp vào vỏ máy chật hẹp, các bức tường bên trong sẽ hấp thụ hết lượng nhiệt dư thừa. Kết quả là các bức tường này trở nên rất nóng, có thể gây bỏng cho người vận hành, hoặc tồi tệ hơn nữa, ảnh hưởng đến tính ổn định nhiệt độ trong quá trình xử lý wafer. Điều này thật khó chịu và kém hiệu quả.
Làm thế nào để giải quyết vấn đề này?
Chúng tôi giải quyết vấn đề này bằng cách sử dụng các bóng đèn hồng ngoại sóng ngắn kết hợp với vỏ máy làm từ thép không gỉ được chế tạo riêng. Thay vì để nhiệt lan ra toàn bộ khung máy, chúng tôi sử dụng các bề mặt phản xạ để đưa năng lượng hồng ngoại đến đúng vị trí cần thiết. Có thể coi đó như chùm sáng từ chiếc đèn pin, chứ không phải ánh sáng từ bóng đèn thông thường.
Vỏ máy đóng vai trò như một lá chắn. Chúng tôi sử dụng loại thép không gỉ chất lượng cao và đánh bóng bề mặt bên trong cho đến khi nó trở nên như gương. Nhờ vậy, bức xạ được chiếu về phía trước, giúp duy trì nhiệt độ bên ngoài thiết bị ở mức ổn định, trong khi vùng cần xử lý lại trở nên rất nóng.
Bí mật đằng sau quy trình chế tạo
Chúng tôi chọn thép không gỉ vì nó có khả năng chịu được áp lực nhiệt cao. Quy trình sản xuất diễn ra trong điều kiện nhiệt độ cao, và các loại hợp kim rẻ tiền thì dễ bị biến dạng hoặc oxy hóa. Khi chúng mất khả năng phản xạ ánh sáng, hiệu suất hoạt động của thiết bị sẽ giảm sút.
Bí mật thực sự nằm ở điểm tập trung của chùm sáng. Nếu vỏ máy lệch đi một chút, các điểm nóng sẽ xuất hiện trên các bức tường bên trong. Đó là lý do tại sao chúng tôi phải chế tạo vỏ máy với độ chính xác cực cao.
Một số người thắc mắc tại sao chúng tôi không sử dụng nhôm. Điều này là do thép không gỉ có độ dẫn nhiệt thấp hơn. Điều này lại là một ưu điểm, vì nó ngăn không cho vỏ máy trở thành một “bể chứa nhiệt” làm nóng toàn bộ thiết bị.
Khi đã lắp đặt xong
Khi bạn kết nối các bộ phận này lại với nhau, bạn sẽ cảm nhận được sự khác biệt ngay lập tức. Nhiệt độ tại vùng cần xử lý sẽ rất cao, nhưng phần khung máy vẫn an toàn để chạm vào. Lưu ý rằng bạn cần đảm bảo rằng hệ thống thông gió hoạt động tốt để xử lý lượng nhiệt tập trung ở vùng đó. Nếu không, bạn có thể làm cháy vật liệu cần xử lý.