http://warm-ir-heater-ray.com/zh/tags/%E4%B8%8E%E6%9F%90%E4%BA%BA/%E6%9F%90%E7%89%A9%E5%AF%B9%E6%8A%97%E4%B8%8E%E7%9B%B8%E5%AF%B9/ Recent content in （与某人/某物）对抗；与……相对 on Warm IR Heating Rays Hugo zh Thu, 18 Jun 2026 01:10:07 +0800 http://warm-ir-heater-ray.com/zh/posts/infrared-vs-convection-for-wafer-drying/ Thu, 18 Jun 2026 01:10:07 +0800 http://warm-ir-heater-ray.com/zh/posts/infrared-vs-convection-for-wafer-drying/ <p><img src="http://warm-ir-heater-ray.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="晶圆干燥：红外加热与对流加热的比较"></p> <p>在300毫米生产线中，计划外的停机时间以及颗粒物问题是亟需解决的难题。多年来，对流式烤箱一直被用于晶圆的干燥和烘烤工序，但它们的升温速度较慢，且容易产生温度波动。此外，气流还可能带来颗粒物，从而导致产品性能不符<a href="https://o-yate.net">合标准</a>。当工艺流程需要以秒和度来衡量时，红外线技术则能提供更高效、精准且干净的加热方式。</p>