http://warm-ir-heater-ray.com/zh/tags/%E5%BE%AE%E6%9C%BA%E7%94%B5%E7%B3%BB%E7%BB%9F/ Recent content in 微机电系统 on Warm IR Heating Rays Hugo zh Thu, 09 Jul 2026 14:53:33 +0800 http://warm-ir-heater-ray.com/zh/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ Thu, 09 Jul 2026 14:53:33 +0800 http://warm-ir-heater-ray.com/zh/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://warm-ir-heater-ray.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="MEMS传感器芯片干燥加热器"></p> <h2 id="引言">引言</h2> <p>让我们来聊聊，当MEMS传感器晶圆干燥生产线全负荷运转时会发生什么。此时，系统会处于极限状态，热量也会达到极值。最糟糕的情况是：红外灯爆炸了。它不仅会失效，还会爆裂成碎片，这些碎片会溅到原本完好的晶圆上。这无疑会造成巨大的损失。</p>