http://warm-ir-heater-ray.com/zh/tags/%E6%A8%A1%E5%9D%97/ Recent content in 模块 on Warm IR Heating Rays Hugo zh Fri, 26 Jun 2026 01:28:32 +0800 http://warm-ir-heater-ray.com/zh/posts/zoned-infrared-heating-module/ Fri, 26 Jun 2026 01:28:32 +0800 http://warm-ir-heater-ray.com/zh/posts/zoned-infrared-heating-module/ <p><img src="http://warm-ir-heater-ray.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="分区式红外加热模块"></p> <p>在光刻工序中，软烘和硬烘并非单纯的加热步骤，其实它们是控制芯片尺寸的重要环节。如果晶圆的温度出现2°C的波动，就会导致芯片的关键尺寸发生变化；而热区域中产生的任何微粒都可能破坏整个芯片。因此，我们设计了分区式的红外<a href="https://goldisgood.com">加热模块</a>，能够精确控制关键区域的温度，同时避免污染的产生。</p>