工业晶圆干燥系统加热器

在晶圆制造过程中，如果干燥室内的温度偏差超过1°C，那么整批晶圆都将报废。晶圆从洁净室中出来时仍带有微量水分，而接下来的软烘烤、硬烘烤或去除边缘杂质的步骤则不允许有任何温度偏差。因此，我们设计的工业级晶圆干燥系统加热器能够有效应对这种状况，而非事后才试图解决这个问题。 关键在于加热器的性能 该加热...