Ruby红外线加热灯 230伏特

在光刻工艺中，光阻软烘烤过程中的2°C温度偏差已经超出了可接受的容忍范围——这会导致产品良率下降。一旦温度控制不稳定，晶圆就会堆积起来，生产进度也会受到影响，同时颗粒数量也会增加。为此，我们设计了Ruby红外线加热灯（230伏特），以确保温度始终处于工艺要求的范围内，从而实现稳定生产。 从技术层面...