في عملية الطباعة بالليثوغرافيا، فإن عمليات التسخين الخفيف والتسخين الشديد ليست مجرد خطوات حرارية، بل هي عبارة عن عوامل تؤثر على الأبعاد الدقيقة للرقاقة. أي اختلاف في درجة الحرارة بمقدار 2 درجة مئوية قد يؤدي إلى تغيير في الأبعاد الدقيقة للرقاقة، كما أن وجود جسيمات في المنطقة الساخنة قد يدمر الرقاقة بالكامل. لذلك، قمنا بتصميم وحدة تسخين بالأشعة تحت الحمراء مزودة بمناطق تسخين منفصلة، بحيث يتم الحفاظ على درجة الحرارة في المناطق المهمة دون حدوث أي تلوث.
تستخدم هذه الوحدة أجهزة إصدار أشعة تحت الحمراء ذات الموجات القصيرة، وهي مرتبة في مناطق يتم التحكم فيها بشكل منفصل، بحيث تتناسب مع شكل الرقاقة. يصل مستوى التجانس الحراري على سطح الرقاقة إلى ±0.1 درجة مئوية، كما أن تكرار درجة الحرارة يكون ±0.2 درجة مئوية بين دفعات الإنتاج المختلفة. تظل المنطقة الساخنة نظيفة، حيث يتم استخدام مواد من الكوارتز والمرايا التي تقلل من إنتاج الغازات، كما أن التصميم يضمن عدم تكوّن أي جسيمات أثناء التشغيل المستمر. في غرف النظافة من الفئة 1–100، يتم الحفاظ على استقرار درجة الحرارة دون زيادة في عدد الجسيمات. كما أن عمليات التسخين تكون أكثر دقة، مما يقلل من تغيرات الأبعاد بين دفعات الإنتاج المختلفة.
يوفر هذا النظام فرصًا كبيرة لتحسين عملية الإنتاج، حيث يساعد التسخين الخفيف على تحسين جودة الرقاقات، كما أن التسخين الشديد يعزز من قدرة الرقاقة على الالتصاق بالسطوح المختلفة، مما يقلل من الهدر والحاجة إلى إعادة العمل. كما أن النظام المنظم يساعد في تقليل استهلاك الطاقة، حيث يتم تجنب التسخين غير الضروري في جميع أنحاء الغرفة. ويسمح التصميم المودولاري بتغيير الوحدات بسرعة أثناء الصيانة الوقائية، مما يقلل من وقت التوقف غير المخطط له.
يتم تركيب الوحدة عبر واجهة الآلة وموصلات العادم. يتم توجيه الوحدة بحيث تكون في المسار المناسب، ثم يتم تنظيم تدفق الهواء للحفاظ على عزل المنطقة الساخنة. تتناسب الوحدة مع مواصفات المعدات الأساسية للرقائق الإلكترونية، لكن يجب التأكد من توصيلات الأسلاك وإعدادات التحكم أثناء التشغيل، حتى تتوافق مع أنظمة التحكم الخاصة بالمصنع.