
Udržování bezpečnosti při použití infračerveného ohřevu v blízkosti těkavých chemikálií
Při mokré čistí semi konduktorů často umisťujeme infračervené ohřevové lampy přímo do komor plných hořlavých nebo výbušných par. Je to velmi nebezpečné prostředí. Stačí jeden malý jiskra nebo chyba v izolaci a máte tu katastrofu.
Z tohoto důvodu se nezabýváme pouze výkonem lampy. Zaměřujeme se také na její uzavření. Tajemství spočívá v těsnosti uzavření. Používáme dvouvrstvou metodu těsnění, abychom zabránili kontaktu elektrických kontaktů s chemikáliemi. Největší problém je v místě, kde vstupují kabely do kvartového pláště. Abychom to vyřešili, používáme hermetické spoje mezi sklem a kovem a také látky, které odolávají vysokým teplotám a nereakcím s chemikáliemi.
Je to docela jednoduché: pokud se tyto korozivní páry dostanou do obvodů lampy, dojde k zkratu. Naše těsnění udržují halogenový plyn uvnitř lampy a škodlivé chemikálie venku.
Boj proti chemickému stresu
Pokud vaše materiály nejsou schopny odolat tomuto prostředí, rychle se znehodnotí. Používáme kvart s speciálními povlaky, aby lampy nezamžily nebo nebyly poškozeny čisticími látkami. Problém je v tom, že jakmile se povrch kvartu začne poškozovat, teplo se nerovnoměrně rozvádí. Výsledkem jsou horká místa na povrchu destiček – což je to poslední, co chceme. Vybíráme povlaky, které zajišťují rovnoměrný tok tepla po celé ploše substrátu.
Kompromisy (protože nic není zadarmo)
Tyto bezpečnostní opatření samozřejmě zvyšují rozměry lampy. Těsnění zvyšuje délku celé konstrukce, takže možná budete muset upravit vzdálenosti mezi podpěrami lampy. Navíc tyto ochranné povlaky omezují objem infračerveného záření ve srovnání s obyčejnou trubicí. Pravděpodobně budete muset zvýšit výkon lampy nebo prodloužit dobu ohřevu, abyste dosáhli požadované teploty.
A ještě jedna věc – ujistěte se, že používáte kabely certifikované jako výbušninově odolné. To je způsob, jak zajistit maximální bezpečnost.