V prostředí litografie nemá 300mm velký čip čas na to, aby se pec stačila přizpůsobit. Neférové zahřívání se projevuje změnami šířky linií. Rozptyly při silném zahřívání zase způsobují problémy. A pomalé sušení? To zanechává stopy vody, které snižují kvalitu výrobku. Naše infračervené ohřívače určené k použití na úrovni čipu jsou právě proto – umožňují rychlé a kontrolované zahřívání tam, kde to proces vyžaduje.
Co je technicky důležité
Používáme krátkovlnné infračervené záření s rychlou reakcí a přesnou spektrální kontrolou. Energie tak působí pouze na fotorezistent a čip, nikoli na ostatní komponenty. V celé aktivní oblasti je dosažena rovnoměrnost teploty na úrovni ±0,1°C. Profily zahřívání jsou konstantní při každém provozu.
Systém je navržen pro provoz v prostředí tříd 1–100: používají se materiály s nízkou emisí páry, uzavřená kvartová okna a také systém ventilace, který zabrání proniknutí částic do tepelného obalu. Nulová produkce částic je ověřována pomocí monitorování během testovacích provozů. Systém funguje 24/7 s možností plánování údržby – žádné neplánované výpadky.
Proč to odpovídá požadavkům
Při sušení čipu infračervené záření odstraňuje povrchovou vodu bez vzniku teplotních šoků, takže se zkracuje doba provozu a minimalizují se vedlejší efekty. Při zpracování fotorezistentu tento systém zajišťuje rovnoměrné zahřívání, což stabilizuje parametry napříč celou série čipů.
U systémů CSP na úrovni čipu tento ohřívač zajišťuje stabilní zahřívání a zabudování čipu, čímž se udržuje kontrola nad teplotami a minimalizuje se deformace čipu. Díky tomu se zvyšuje rychlost výroby, zlepšuje se rozdělení tepla a snižuje se množství odpadu – bez nutnosti sledovat hodnoty teploty v peci, které vždy zaostávají za skutečností.
Na co je potřeba myslet
Ohřívač potřebuje čistý a suchý zdroj napájení a stabilní povrch pro montáž, aby byla zachována správná orientace a rovnoměrnost. Je kompatibilní se standardními zařízeními na manipulaci s čipy a interfejsemi SEMI. Při integraci je však potřeba vzít v úvahu rozdíly v emisivitě mezi různými vrstvami a podklady – poskytujeme kalibrační matrici pro každý recept.
Je potřeba plánovat pravidelné kontroly a ověřování teploty. Preciznost nenastává náhodou – musí být udržována.