V provozu výrobní linky stačí odchylka teploty v sušicí komoře o méně než 1 °C k znehodnocení celé série výrobků. Wafery vyjdou z čisté komory stále...

V prostředí litografie nemá 300mm velký čip čas na to, aby se pec stačila přizpůsobit. Neférové zahřívání se projevuje změnami šířky linií. Rozptyly...

V řadě 300 mm jsou neplanované přerušení provozu a částice hlavními problémy. Konvekční pece sloužily k sušení a vypalování po celá léta, ale jejich...