Auf der Lithografie-Ebene kann man sich nicht vor Temperaturunterschieden verstecken. Selbst geringfügige Abweichungen im Heizprozess führen zu Abweichungen in den Abmessungen des Wafers. Die Beschichtungs- und Entwicklungsanlage hört nicht auf zu arbeiten, solange der Ofen noch nicht auf die richtige Temperatur gekommen ist. Wenn der Heizer die eingestellte Temperatur nicht konstant halten kann, ändert sich das Profil des Photoresists – und damit auch die Anzahl der Defekte.
Was wir gebaut haben – und warum das wichtig ist
Wir haben diesen Infrarotheizer auf der Basis von Kurzwellenlampen sowie eines quartzschnellen Wärmeübertragungssystems entwickelt. Entscheidend sind hier die Reaktionszeit sowie die Kontrolle der Temperatur. Die Homogenität der Temperatur auf der Oberfläche des Wafers bleibt bei ±0,1°C – dadurch bleiben die Ergebnisse beim Weichen- und Hartbrennen von Lot zu Lot konstant. Der Heizer kann in Reinräumen der Klasse 1–100 eingesetzt werden, da seine Konstruktion dazu dient, keine Partikel zu erzeugen – es kommt weder zu Ausgasungen noch zu Verunreinigungen des Photoresists. Die Zuverlässigkeit hängt von der Betriebszeit ab: Die Komponenten sind dafür geeignet, 24/7 zu arbeiten. Zudem hält das Wärmesystem die eingestellte Temperatur konstant – ohne die Abweichungen, die bei älteren Heizsystemen auftreten.
In Beschichtungs- und Entwicklungsanlagen ist der Heizmodul der Schlüssel für eine hohe Produktivität und Qualität. Unser Infrarotheizer bringt den Wafer schnell auf die gewünschte Temperatur und hält sie dort konstant – dadurch verkürzt sich die Bearbeitungszeit und der thermische Stress auf dem Substrat wird verringert. Das bedeutet weniger Abweichungen in der Homogenität der CD-Struktur, ein saubereres Profil des Photoresists sowie eine bessere Kontrolle der Linienbreite. Zudem wird im Vergleich zu herkömmlichen Heizsystemen weniger Energie verbraucht – außerdem sind weniger Wartungsarbeiten notwendig, da es keine kontaktbasierten Verschleißstellen gibt.
Ein paar praktische Hinweise vor dem Einsatz
Der Heizer passt in Standard-Beschichtungs- und Entwicklungsanlagen – doch Sie müssen trotzdem die physischen Abmessungen sowie die Montagebedingungen im Einklang mit der genauen Bauweise der Anlage prüfen. Sobald die Abstände stimmen, ist die Integration einfach – falls die Abstände nicht passen, kann das zu Problemen bei der Homogenität führen. Planen Sie die Installation während einer geplanten Wartung ab – und stellen Sie sicher, dass die Luftzufuhr im Reinraum keine lokalen Hitze- oder Kältepunkte am Lampenfenster erzeugt.