In der Lithografie ist eine Temperaturänderung von 2°C während des Weichbrennvorgangs des Photoresists keine zulässige Toleranz – das führt dazu, dass die Produktqualität leidet. Die Wafer stapeln sich an, die Termine verspäten sich, und die Anzahl der Partikel nimmt zu, sobald die Temperaturregelung nicht mehr zuverlässig funktioniert. Wir haben die Ruby-Infrarotheizlampe (230 V) entwickelt, um die Temperatur im gewünschten Bereich zu halten – Schicht für Schicht.
Was technisch wichtig ist:
Die Ruby-Lampe emittiert Kurzwellen-Infrarotlicht mit schneller Reaktionszeit und präziser Spektralkontrolle. Mit einer Nennspannung von 230 V passt sie problemlos in die Standardausrüstung – ohne Umbau oder Transformatoren. In der aktiven Zone bleibt die thermische Homogenität bei ±0,1°C, und die Wiederholgenauigkeit zwischen den Durchgängen liegt bei ±0,5°C. Die Quarzkapsel sowie das Rubin-Dopantmuster reduzieren das Ausgasen und sorgen dafür, dass nur wenige Partikel entstehen – somit kann eine Reinraumklasse von 1–100 erreicht werden. Wir haben die Lampen bereits über 5.000 Stunden lang im Dauerbetrieb eingesetzt – mit weniger als 5% Leistungseinbruch. Die Geometrie des Filaments sorgt außerdem für eine stabile Widerstandskraft trotz thermischer Belastungen.
Warum sie in der Produktion funktioniert:
Beim Bearbeiten des Photoresists sorgt der Weichbrennvorgang für den Verdampfungsprozess der Lösungsmittel sowie für die Erzeugung von Spannungen im Film. Der Hartbrennvorgang hingegen fixiert das Muster vor dem Ätzenvorgang. Die Ruby-Lampe stabilisiert beide Schritte – sie erreicht schnell die gewünschten Temperaturen und kühlt gleichmäßig ab. Dadurch entstehen weniger Hotspots und weniger Überbelichtungen an den Rändern. Das Ergebnis ist eine bessere Kontrolle der Strukturen, weniger Nacharbeiten sowie konstante Linienbreiten. Der Energieverbrauch sinkt, da die Wärme nur dann erzeugt wird, wenn sie benötigt wird – statt auf einer großen Heizplatte. Das bedeutet niedrigere Kosten pro Wafer sowie weniger unplanmäßige Störungen.
Praktische Hinweise:
Die Installation ist einfach – doch die richtige Ausrichtung der Lampe ist entscheidend. Befestigen Sie die Lampe innerhalb von ±1 mm der angegebenen Brennweite. Andernfalls verschlechtert sich die Homogenität, und es entstehen Hotspots. Überprüfen Sie immer den Zustand des Reflektors sowie reinigen Sie die Fassung regelmäßig. Ein Betrieb unter der Nennspannung kann die Lebensdauer verlängern – doch dadurch erhöht sich auch die Aufwärmzeit und das Brennprofil ändert sich. Halten Sie sich stets an die kalibrierte Spannung für jede Anwendung.