Sicherheit bei der Verwendung von IR-Heizungen in der Nähe von brennbaren oder explosiven Chemikalien
Beim Reinigen von Halbleitern werden oft IR-Heizlampen direkt in Räume placiert, die mit brennbaren oder explosiven Dämpfen gefüllt sind. Das ist eine äußerst riskante Situation – schon ein kleiner Funke oder ein Fehler in der Isolierung kann zu einer Katastrophe führen.
Deshalb achten wir nicht nur auf die Leistung der Heizlampe, sondern auch auf deren Abdeckung. Das Geheimnis liegt in der Abdichtung. Wir verwenden eine doppelte Abdichtmethode, um die elektrischen Anschlüsse vollständig von den Chemikalien fernzuhalten. Das größte Problem entsteht dort, wo die Stromleitungen in die Quarzkugel eingeführt werden. Um dieses Problem zu lösen, nutzen wir hermetische Glas-Metall-Abdichtungen sowie Zusätze, die hohen Temperaturen standhalten können, ohne auf die Chemikalien zu reagieren.
Es ist ganz einfach: Wenn diese korrosiven Dämpfe in das Schaltkreissystem eindringen, kommt es zu einem Kurzschluss. Unsere Abdichtungen halten das Halogene gas innerhalb der Lampe und die schädlichen Chemikalien außerhalb.
Der Kampf gegen den chemischen Stress
Wenn die Materialien der Umgebung nicht standhalten, verschlechtern sie sich schnell. Wir verwenden hochreines Quarz mit speziellen Beschichtungen, damit die Lampen nicht beschlagen oder durch Reinigungsmittel beschädigt werden. Das Problem ist jedoch, dass, sobald die Oberfläche des Quarzes anfängt zu verwittern, die Wärme nicht mehr gleichmäßig verteilt wird. Dadurch entstehen heiße Stellen auf dem Wafer – das ist genau das Letzte, was man möchte. Wir wählen daher Beschichtungen, die einen gleichmäßigen Wärmefluss über die gesamte Oberfläche gewährleisten.
Kompromisse (denn nichts ist umsonst)
Diese Sicherheitsmaßnahmen machen die Lampen etwas größer. Die Abdichtung verlängert die Länge des Geräts, sodass man die Abstände zwischen den Halterungen anpassen muss, damit alles passt. Zudem blockieren die Schutzbeschichtungen einen Teil der IR-Strahlung im Vergleich zu einer unbeschichteten Lampe. Man muss daher die Leistungsparameter erhöhen oder die Wafer länger in der Lampe belassen, um die gewünschte Temperatur zu erreichen.
Und noch eines: Achten Sie darauf, dass Sie für die Verkabelung explosionsgeschützte Leitungen verwenden. Nur so kann man alle Sicherheitsaspekte berücksichtigen.