دست از هدر دادن گرما بردارید: چرا رزولورهای طلایی واقعاً برای ویفرهای شما مهم هستند
بیایید صادق باشیم: وقتی که ویفرها را خشک میکنید یا فوتورزیستها را تثبیت میکنید، هر وات انرژی اضافی که هدر میرود، در واقع پولی است که بیفایده از بین میرود. اکثر کارخانهها از رزولورهای استاندارد آلومینیومی استفاده میکنند؛ اما مشکل اینجاست که این رزولورها بخش عمدهای از انرژی مادون قرمز را جذب میکنند. این موضوع مانند نشت انرژی در سیستم شماست.
در همین جاست که استفاده از رزولورهای طلایی مفید میشود.
علم ساده پشت این موضوع:
طلا، نور مادون قرمز را بهتر از آلومینیوم یا فولاد ضدزنگ جذب میکند. با قرار دادن لایه نازکی از طلا روی رزولور، در واقع به فوتونها میگوییم: «در بدنه دستگاه ناپدید نشوید؛ برگردید به ویفر».
این کار باعث میشود که گرما به صورت پرفشار و در جهت مشخصی ارسال شود؛ بدین ترتیب، میتوانید گرمای بیشتری روی ویفر اعمال کنید، بدون اینکه نیاز به افزایش ولتاژ یا فشار بر تجهیزات داشته باشید.
کنترل صحیح:
نمیتوانید فقط طلا را روی رزولور قرار دهید و کلید را فعال کنید؛ چرا که این کار مشکلاتی را ایجاد خواهد کرد. برای کنترل صحیح، به یک کنترلر دیجیتال برای خشککنندههای مادون قرمز نیاز دارید. چرا؟ چون اگر گرمای بیش از حدی روی ویفر اعمال شود، باعث شوک حرارتی خواهد شد. ما این کنترلرها را با لامپهای با چگالی بالا ترکیب میکنیم تا گرما به طور یکنواخت در سطح کلی ویفر پخش شود. اگر کنترلر و لامپ با هم هماهنگ نباشند، نقاط گرمی ایجاد خواهد شد؛ و کسی این را نمیخواهد.
واقعیت درباره کارخانهها:
طلا راهحل جادویی برای همه مشکلات نیست؛ قیمت آن بالاست، و استفاده از آن کمی پیچیده است. اگر فرآیند شما شامل گازهای خورنده یا ذرات زیادی باشد، این لایه طلا تخریب خواهد شد. برای اینکه رزولورها همچنان کار کنند، باید آنها را کاملاً تمیز نگه دارید.
یک نکته مهم دیگر این است که، از آنجایی که طلا انرژی را به خوبی تمرکز میکند، فنهای خنککننده نیز باید قادر به کار کردن باشند. اگر گرمای محیطی را از بدنه دستگاه خارج نکنید، الکترونیکهای دستگاه آسیب خواهد دید.
راه حل این است که همه چیز را با یک سیستم PID دقیق کنترل کنید؛ این راز استفاده بهینه از هر وات انرژی است.