جلوگیری از فاجعه ناشی از پارگی لامپهای مورد استفاده در فرآیند خشک کردن ویفرها
در کارخانههای تولید نیمههادی، حتی خرابی یک لامپ میتواند باعث از بین رفتن کل محموله ویفرها شود؛ این یک فاجعه واقعی است. وقتی که لامپ مربوط به فرآیند خشک کردن تحت فشار زیادی قرار میگیرد، نه تنها فرآیند تولید متوقف میشود، بلکه تکههای کوارتز و گاز هالوژن نیز به سمت محصولات شما سقوط میکنند.
ما لامپهای مورد استفاده در فرآیند خشک کردن را به گونهای طراحی کردهایم که چنین اتفاقی رخ ندهد.
حفظ تمیزی ویفرها
اکثر لامپها در اثر تغییرات ناگهانی ولتاژ خراب میشوند؛ این امر به دلیل فشار زیاد بر روی شیشه است. برای جلوگیری از این مشکل، از کوارتز با خلوص بالا استفاده میکنیم؛ ضخامت دیواره این کوارتز نیز به گونهای تنظیم شده که بتواند در برابر شوکهای حرارتی مقاومت کند. همچنین، بدنه لامپ نیز تقویت شده تا بتواند فشار درونی ناشی از گاز هالوژن را تحمل کند.
اگر میخواهید از خرابی لامپ جلوگیری کنید، میتوانید از غلافهای محافظ استفاده کنید؛ این غلافها مانند سپری عمل کرده و در صورت خرابی لامپ، از ویفرها محافظت میکنند.
مقابله با گرما
قرار دادن توان بالا در فضای کوچک، باعث ایجاد گرمای زیادی میشود؛ اگر منبع تغذیه لامپ خاموش باشد، نقاط گرم ایجاد میشوند و این نقاط دقیقاً همان جاهایی هستند که لامپ ممکن است پاره شود.
به همین دلیل، لامپهای ما را به گونهای طراحی کردهایم که در محدوده ولتاژ بسیار دقیقی کار کنند؛ این کار باعث میشود گرما به طور یکنواخت در سراسر لامپ توزیع شود.
اما نکته مهم این است که سیستم خنککننده لامپ نیز باید قادر به مقابله با گرما باشد؛ اگر بدنه لامپ بیش از حد گرم شود، مهرها و درزهای لامپ تخریب میشوند و عمر لامپ کاهش مییابد.
نکات کوچک اما مهم
ما از کانکتورها و مهارههای استاندارد استفاده میکنیم؛ زیرا فشار مکانیکی میتواند باعث خرابی لامپ شود. من چندین بار دیدهام که کسی لامپ را بیش از حد محکم در جای خود قرار داده و در نتیجه لامپ خراب شده است.
مهارههای ما فضای کافی برای انبساط و انقباض طبیعی شیشه لامپ را فراهم میکنند.
یک نکته دیگر: لطفاً لامپها را در زمانهای تعیینشده تعویض کنید؛ لطفاً تا زمان خرابی لامپ، از آنها استفاده نکنید. همچنین، مراقب کاهش توان لامپ باشید؛ این روش، آسانترین راه برای تشخیص خرابی لامپ قبل از اینکه باعث کاهش کیفیت محصول شود، است.