در خطوط تولید با طول ۳۰۰ میلیمتر، توقفات غیربهنگام و وجود ذرات، دشمنان اصلی هستند. فرهای حرارتی سنتی سالهاست که برای خشک کردن و پختن قطعات استفاده میشوند؛ اما سرعت عمل آنها کند است، همچنین جابجایی ذرات نیز رخ میدهد و جریان هوا میتواند ذراتی را به وجود آورد که باعث کاهش کیفیت محصول میشود. در حالی که زمان انجام فرآیندها در اینجا بر حسب ثانیه و درجه اندازهگیری میشود، روش مادون قرمز منجر به ایجاد الگوی حرارتی سریع، دقیق و بدون نقص میشود.
از نظر فنی، مهمترین چیز، مسیر انتقال حرارت است. روش خشککردن با مادون قرمز، حرارت را مستقیماً به سطح ویفر منتقل میکند؛ این کار با استفاده از فرستندههای موج کوتاه یا متوسط انجام میشود. در نتیجه، یکنواختی در دمای سطح ویفر در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حاصل میشود؛ همچنین، الگوهای پختن یکنواختی وجود دارد و بازیابی دمای ویفر پس از باز شدن درب فر، در کمتر از یک ثانیه انجام میشود. به دلیل عدم وجود فنهای گردشی، محیط کار در درجه خلاصهشده ۱ تا ۱۰۰ قرار میگیرد؛ در نتیجه تولید ذرات به حداقل میرسد. مصرف انرژی نیز کاهش مییابد، زیرا انرژی صرف ویفر میشود، نه دیوارههای محفظه و هوای آن.
در بخشهای لیتوگرافی، زمان انجام فرآیند و کنترل نقصها اهمیت زیادی دارد. ماژولهای مادون قرمز میتوانند در جایگاههای مخصوص قرار گیرند و مراحل پختن و خشککردن را بدون آسیب رساندن به فوتورزیست، انجام دهند. در نتیجه، کنترل بهتر ابعاد کلیدی، کاهش تعداد نقصها و پایداری فرآیند در تمام محصولات حاصل میشود.
اگر تولیدات شما در حجم زیادی انجام میشود، قابلیت اطمینان این روش بسیار بالاست؛ دستگاهها میتوانند بیش از ۵۰۰۰ ساعت کار کنند، بدون اینکه کمتر از ۵٪ کاهش در بازدهی رخ دهد؛ این امر امکان کار ۲۴ ساعته را فراهم میکند. این روش، راهحلی مهندسیشده و تأییدشده برای جایگزینی فرهای حرارتی سنتی است؛ همچنین، این روش مطابق با استانداردهای بینالمللی تجهیزات است و در کارخانههای تولیدی نیز آزمایش شده است.
نکته مهم این است که روش مادون قرمز برای فیلمهای نازک و فوتورزیست، زمانی مفید است که نیاز به گرمایش سریع و یکنواخت سطح وجود داشته باشد؛ اما باید امکان کنترل امپدانس و بازتاب نور روی سطوح مختلف را در نظر گرفت. پیادهسازی این روش، به معنای تنظیم طیف فرستندهها متناسب با لایههای موجود روی ویفر و تنظیم دقیق دما بر اساس ویفر است، نه بر اساس سکوی مربوطه. پیادهسازی این روش ساده است، اما باید زمان کافی برای تنظیم پارامترها در نظر گرفته شود تا الگوهای حرارتی مناسب ایجاد شوند.