کنترل دقیق دما در جعبه دستکشدار کلاس ۱۰۰
وقتی که میخواهیم چیزهایی را درون جعبه دستکشدار کلاس ۱۰۰ گرم کنیم، هدف ما استفاده از توان بالا نیست. مبارزه واقعی با ذرات ریز و گازهای شیمیایی است که قابل مشاهده نیستند.
در واقع، عناصر گرمایشی معمولی دارای مشکل این هستند که به محض گرم شدن، پوستهپوسته میشوند یا مواد آلاینده تولید میکنند. این موضوع در اتاقهای تمیز، واقعاً یک فاجعه است. برای جلوگیری از این اتفاق، از لامپهای مادون قرمز ساخته شده از کوارتز با خلوص بالا استفاده میکنیم.
حفظ تمیزی
ما از کوارتز با محتوای بالای سیلیس استفاده میکنیم. چرا؟ چون این ماده در هنگام گرم شدن یا سرد شدن، پوستهپوسته نمیشود.
بسیاری از لامپهای گرمایشی از پوششهای شیشهای یا فلزی ارزانقیمت استفاده میکنند؛ این پوششها اکسید شده و پوستهپوسته میشوند. اگر یکی از این پوستهها روی ویفرهای نیمههادی بیفتد، کل محصولات شما از بین خواهد رفت.
ما همچنین لولههای کوارتز را از نظر شیمیایی تمیز میکنیم تا یونهای روی سطح آنها از بین بروند. این کار باعث میشود لامپها در محیط اطراف، نامرئی بمانند و منبع آلودگی نشوند.
گرما و خلأ
مزیت لامپهای مادون قرمز این است که گرما مستقیماً به هدف میرسد؛ این امر باعث میشود هوای داخل جعبه دستکشدار گرم نشود و در نتیجه همه چیز پایدار بماند. علاوه بر این، این لامپها به سرعت گرم میشوند. هرچه زمان کمتری برای گرم شدن لامپها صرف شود، احتمال بروز اشکال کمتر خواهد بود.
اما یک نکته مهم وجود دارد: باید به تراکم توان لامپها توجه کرد. لامپهای با توان بالا برای سرعت عالی هستند، اما فشار زیادی روی سیستم خنککننده وارد میکنند. اگر سیستم خنککننده نتواند با تولید گرما کنار بیاید، فشار داخلی جعبه دستکشدار افزایش خواهد یافت. این یک تعادل لازم است.
نصب و مشکلات مربوطه
ما از کانکتورهای استاندارد استفاده میکنیم؛ بنابراین میتوان این لامپها را به راحتی جایگزین لامپهای قدیمی کرد. نیازی نیست هر بار که یک لامپ خراب شود، کابینت کنترل را تعمیر کنید. همچنین، اندازه این لامپها کوچک است؛ بنابراین میتوان آنها را در فضای محدود جعبه دستکشدار قرار داد.
اما یک مشکل وجود دارد: کوارتز با خلوص بالا شکننده است؛ یک اشتباه کوچک در هنگام نصب میتواند باعث ترک خوردن لوله شود. در این صورت، باید کل محفظه را تمیز کنید تا بتوانید دوباره شروع به تولید کنید.
جدی میگوییم: هر بار باید از دستکشهای بدون الیاف استفاده کنید.