چرا استفاده از گرمایش مادون قرمز در فرآیند خشک کردن نیمههادیها بهترین راه است؟
صنعت نیمههادیها سرانجام در حال حرکت به سمت استانداردهای «سبز» و بدون سرب است. البته این امر مدتهاست که لازم بود. مدتها بود که از فرهای مبتنی بر جریان هوا و مواد شیمیایی خشن استفاده میکردیم؛ این روشها باعث هدر رفتن انرژی و تولید ذرات زائد روی ویفرها میشدند.
اگر به دنبال راهی برای رفع این مشکلات هستید، استفاده از گرمکنهای مادون قرمز که سازگار با شرایط خلأ هستند، پاسخ مناسبی است.
نحوه کارکرد آنها
فکر کنید: در شرایط خلأ، هیچ هوایی وجود ندارد؛ بدون هوا، جریان هوا نیز وجود ندارد. پس نمیتوانید هوای گرم را به سمت یک جسم خاص پمپاژ کنید.
در اینجاست که گرمایش مادون قرمز وارد عمل میشود؛ این روش از امواج الکترومغناطیسی برای گرم کردن سطح مورد نظر استفاده میکند. شما دیگر نیازی ندارید که فضای بزرگی را گرم کنید؛ فقط سطح مورد نظر را گرم میکنید.
این روش بسیار سریع است؛ و قطعاً کارآمدترین روش برای انجام این کار است.
تمیز کردن فرآیند
ذوبکنندههای بدون سرب و رزینهای سازگار با محیط زیست، نیاز به شرایط حرارتی خاصی دارند. اگر دما بیش از حد باشد، تراشهها خراب میشوند؛ اگر دما کم باشد، فرآیند خشک کردن موفق نخواهد بود و شما مواد را هدر خواهید داد.
ما از گرمایش مادون قرمز برای افزایش دما به سرعت و با دقت استفاده میکنیم.
نکته خوب این است که میتوانید از ترکیبات آلی فرار استفاده نکنید؛ زیرا این ترکیبات قبلاً برای تسریع فرآیند خشک کردن استفاده میشدند. با حذف هوا و مواد شیمیایی، شما در واقع به یک فرآیند بدون انتشار گازهای زیانآور دست مییابید؛ این روش برای همه سالمتر است.
معایب این روش
البته، این روش نیز معایبی دارد. گرمکنهای مادون قرمز با توان بالا، مقدار زیادی گرما تولید میکنند؛ این موضوع برای افزایش سرعت تولید عالی است، اما برای تجهیزات شما مشکلاتی ایجاد میکند.
من شاهد بودهام که سیستمهای زیادی به دلیل عدم سازگاری سیستم خنککننده با توان واقعی لامپ، از کار افتادهاند. اگر توان گرمایش مادون قرمز را با توان خنککننده تطبیق ندهید، مشکلاتی مانند نشت گازها یا خراب شدن سیستمهای خنککننده پیش خواهد آمد.
چند نکته مهم: از سیمهای با دمای بالا استفاده کنید؛ همچنین، مطمئن شوید که فلنجهای خلأ بتوانند انبساط حرارتی لولههای کوارتز را تحمل کنند. در غیر این صورت، هر بار که لامپها روشن و خاموش میشوند، با مشکلات نشت گاز روبرو خواهید شد.