Maintenir un environnement propre : chauffage pour des salles propres de classe 100
Dans les usines de semi-conducteurs, même une minuscule particule de poussière peut être fatale pour les wafers. Si vous avez besoin de chaleur dans une salle propre de classe 100, vous ne pouvez pas simplement utiliser un élément chauffant standard et espérer le meilleur. Il vous faut des équipements qui ne libèrent ni fumée ni particules.
C’est pourquoi nous utilisons des lampes à rayonnement infrarouge en quartz de haute pureté, ainsi que des câbles isolés en Téflon. C’est la seule façon d’éviter que les gaz et les particules ne endommagent vos produits.
L’avantage du quartz de haute pureté
Nous utilisons du quartz synthétique pour ces lampes pour une raison simple : il ne subit pas d’altérations lors des variations de température. Le verre ordinaire, lui, finit par se briser ou commence à libérer des particules de silice. Ce n’est pas idéal.
Ces lampes à rayonnement infrarouge utilisent des ondes courtes pour chauffer directement le matériau cible. Comme la chaleur atteint directement son but, il n’y a pas besoin de chauffer l’air ambiant. Cela réduit donc la quantité de contaminants en suspension dans la zone de production. C’est plus propre, et plus simple.
Pourquoi insistons-nous sur le Téflon (PTFE)
Les revêtements en PVC ou en silicone sont un cauchemar dans une salle propre. Lorsqu’ils deviennent trop chauds, ils commencent à libérer des composés organiques volatils. Ce n’est pas acceptable.
Nous utilisons des câbles recouverts de Téflon, car le PTFE est essentiellement inerte. Il ne se dégrade pas et ne libère pas de fumée, même par temps très chaud. Il reste donc stable. Cela empêche les dépôts de carbone et les vapeurs chimiques d’entrer dans votre espace stérile.
Faire fonctionner tout cela correctement
Nous essayons de rendre ces systèmes aussi compacts que possible, afin que la source de chaleur reste proche du substrat. Mais il y a un problème : le chauffage par rayonnement infrarouge crée des points chauds localisés. Il faut donc bien concevoir les systèmes de refroidissement. Si le dissipateur de chaleur est trop petit pour la puissance de la lampe, la chaleur se répandra dans le boîtier. Dans ce cas, les alignements précis seront perturbés, et vous devrez passer votre week-end à recalibrer tout ça.
Un dernier conseil : utilisez des connecteurs plaqués or ou en nickel de haute qualité. Cela évite l’oxydation aux points de contact. Aucun problème de connexion électrique, et une durée de vie de plusieurs milliers d’heures.