בתהליך הליתוגרפיה, לוופר בגודל 300 ממ אין זמן לחימום מלא על ידי התנור. שינויים בטמפרטורה במהלך החימום גורמים לשינויים ברוחב הקווים. שינויים חדים בטמפרטורה גורמים להיווצרות של לכלוך על פני הוופר. וייבוש איטי? זה גורם להשארת סימני מים, שפוגעים באיכות המוצר הסופי. ייצרנו את החיממן באינפרא-אדום ברמת הוופר דווקא בשביל מצבים אלו – חימום מהיר ומדויק, בדיוק במקום שהתהליך דורש זאת.
מה חשוב מבחינה טכנית? אנו משתמשים באינפרא-אדום בגלים קצרים, עם תגובה מהירה ושליטה טובה בספקטרום האנרגיה. כך, האנרגיה מגיעה ישירות לפוטורזיסט ולוופר, ולא לחלקים האחרים של המכשיר. בכל אזור העבודה, יש אחידות בטמפרטורה של ±0.1°C, והפרופילים של זמן החימום חוזרים על עצמם בכל פעם שמבצעים את התהליך.
המערכת מותאמת לחדרי ניקיון מסוג 1–100: חומרים עם פליטה נמוכה של גזים, חלונות קוורץ אטומים, ומסלולי אוורור שמונעים חדירת חלקיקים לתוך המערכת. אין ייצור של חלקיקים, וזה מוודאים באמצעות מעקב בזמן אמת במהלך הבדיקות. המערכת פועלת 24/7, עם זמני תחזוקה שניתן לתכנן מראש – ללא הפסקות בלתי צפויות.
למה זה מתאים לתהליך? לצורך ייבוש הוופר, החימום באינפרא-אדום מסייע להסרת המים מהפני השטח, ללא שוק תרמי. כך, זמן העיבוד קצר יותר, והפסולת פוחתת. בתהליך הטיפול בפוטורזיסט, אותה שליטה מסייעת לשמור על אחידות בטמפרטורה, מה שמסייע לשמור על איכות המוצר הסופי.
במערכות CSP ברמת הוופר, החיממן מסייע לתהליך יציב של חימום ואריזה, ומשמר על שליטה בטמפרטורה ועל רמת העיוות של הוופר. כך ניתן להשיג קצב עבודה גבוה יותר, אחידות גבוהה יותר, ופחות פסולת – בלי להתמודד עם בעיות שנוצרות כתוצאה מהפרשים בטמפרטורה.
מה צריך לתכנן? החיממן זקוק לאספקת אנרגיה נקייה ויבשה, וכן למשטח יציב עליו הוא יכול להיות מותקן, כדי לשמור על אחידות ועל הגדרה מדויקת של הטמפרטורה. המערכת תואמת את הסטנדרטים של FOUP ו-SEMI, אך יש להתחשב בהבדלים ברמת הפליטה של החום בין החומרים השונים. אנו מספקים מטריצת כיול לכל תהליך.
יש לתכנן בדיקות תקופתיות של המערכת ושל הטמפרטורה. הדיוק לא נוצר במקרה – הוא נשמר על ידי בקרה קפדנית.