ओडीएम-ग्रेड इन्फ्रारेड हीटर्स, पैकेजिंग एवं टेस्टिंग क्षेत्र में अधिक लाभप्रदता हासिल करने हेतु क्यों महत्वपूर्ण हैं?
हमने अपने ओडीएम-ग्रेड इन्फ्रारेड हीटरों को एक विशेष उद्देश्य हेतु ही विकसित किया – लिथोग्राफी प्रक्रिया में उपयोग हेतु। इसका उद्देश्य सरल है – ऐसा ऊर्जा स्रोत उपलब्ध कराना, जो विश्वसनीय हो, बजट पर बोझ न डाले, एवं बिना किसी रुकावट के काम चलता रहे। यह कोई साधारण लैंप नहीं है; यह एक ऐसा उपकरण है, जो सेमीकंडक्टर वेफरों के उपचार हेतु विशेष रूप से डिज़ाइन किया गया है।
शक्ति, वोल्टेज एवं आकार – बिना अतिरिक्त चिंता के
“सॉफ्ट बेक” ओवन में ऐसी ऊर्जा आवश्यक है, जो तेज़ी से उपलब्ध हो एवं स्थिर रहे। हमारे इन्फ्रारेड हीटर ऐसी ही ऊर्जा प्रदान करते हैं। हमने 400V इनपुट चुना, क्योंकि उच्च-स्तरीय उपकरणों हेतु यही उपयुक्त है। लंबी दूरी तक वायर लगने से वोल्टेज में कमी आ सकती है; उच्च वोल्टेज से एक ही वाटेज में कम करंट आता है, जिससे कॉपर की हानि कम होती है एवं टर्मिनल ठंडे रहते हैं।
आकार के बारे में… हमने इसे मानक ओवन चैंबरों के अनुरूप ही डिज़ाइन किया – लगभग 300 मिमी। इससे इसे आसानी से लगाया जा सकता है… बिना किसी अतिरिक्त समायोजन के। वाटेज ऐसा ही चुना गया है कि आवश्यक सतह तापमान प्राप्त हो सके… इससे फोटोरेसिस्ट का उपचार तेज़ी से होता है।
ऐसी सामग्रियाँ, जिनके कारण यह उपकरण आदर्श है
इसके अंदर क्वार्ट्ज ट्यूब है, जिसमें हैलोजन फिलामेंट है… यह तेज़ गति से इन्फ्रारेड ऊर्जा उत्पन्न करता है, एवं थर्मल शॉक को सहन करने में भी सक्षम है। आंतरिक हैलोजन चक्र, फिलामेंट को स्थिर रखता है… इससे लंबे समय तक एकसमान ऊर्जा प्राप्त होती है।
बाहरी सतह पर रिफ्लेक्टिव कोटिंग है… जिससे अधिक ऊर्जा वेफर पर ही जाती है… ओवन की दीवारों को गर्म नहीं करती।
R7s कनेक्टर… यह व्यावहारिक, औद्योगिक रूप से उपयुक्त है… इससे करंट सही तरीके से संचालित होता है… एवं इसे आसानी से लगाया जा सकता है। एक बार वायर लगाने के बाद, यह हमेशा वैसा ही रहता है… भले ही ओवन बार-बार खुले/बंद होता रहे।
“सॉफ्ट बेक”, वास्तविक परिस्थितियाँ… एवं इसका वास्तविक प्रभाव
लिथोग्राफी में “सॉफ्ट बेक” प्रक्रिया में फोटोरेसिस्ट से विलायक हटाए जाते हैं… एवं वेफर को उचित तापमान पर लाया जाता है। यदि तापमान असमान हो, तो वेफर की मोटाई में समस्याएँ आती हैं… एवं उत्पादन में कमी आती है।
हमारे इन्फ्रारेड हीटर, नियंत्रित तापमान प्रदान करते हैं… इससे पूरे बैच में एकसमान तापमान प्राप्त होता है।
यह डिज़ाइन वास्तविक उत्पादन परिस्थितियों में भी कार्य करता है… यह बार-बार होने वाले थर्मल चक्रों को सहन करता है… एवं ऊर्जा प्रदान करने में भी स्थिर रहता है।
लेकिन यह भी ध्यान रखना आवश्यक है कि उच्च ऊर्जा घनत्व के कारण ओवन का शीतलन एवं हवा-प्रवाह भी उतना ही मजबूत होना आवश्यक है। यदि ओवन तापमान को कम नहीं कर पाता, तो कंट्रोलर स्थिरता बनाए रखने में कठिनाई महसूस करेगा। हीटर को मशीन के अनुरूप ही चुनना आवश्यक है… इससे अधिक उत्पादन होगा… एवं प्रति वेफर खर्च होने वाली ऊर्जा भी कम होगी।
यही कारण है कि ओडीएम-ग्रेड इन्फ्रारेड हीटर, पैकेजिंग एवं टेस्टिंग क्षेत्र में वार्षिक लाभप्रदता को बढ़ाने में महत्वपूर्ण भूमिका निभाते हैं।