लिथोग्राफी प्रक्रिया में, फोटोरेजिस्ट को नरम तापमान पर सुखाने के दौरान 2°C का अंतर कोई स्वीकार्य मानदंड नहीं है… ऐसी स्थिति में उत्पादन प्रक्रिया प्रभावित हो जाती है। वेफरों का ढेर लग जाता है, समय-सारणी बिगड़ जाती है, और जैसे ही तापीय नियंत्रण कमजोर हो जाता है, कणों की संख्या बढ़ने लगती है। हमने रूबी इन्फ्रारेड हीटिंग बल्ब (230V) बनाया है, ताकि प्रक्रिया के दौरान तापमान नियंत्रित रह सके।
तकनीकी दृष्टि से महत्वपूर्ण बातें:
रूबी बल्ब, तेज़ प्रतिक्रिया एवं सटीक स्पेक्ट्रल नियंत्रण के साथ शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड किरणें उत्सर्जित करता है। 230V वोल्टेज पर काम करने वाला यह बल्ब, किसी विशेष वायरिंग या ट्रांसफॉर्मर की आवश्यकता के बिना ही मानक उपकरणों में इस्तेमाल किया जा सकता है। वेफरों पर तापमान स्थिर रहता है… ±0.1°C के भीतर; चक्र-दर-चक्र प्रक्रिया में भी तापमान स्थिर रहता है… ±0.5°C के भीतर। क्वार्ट्ज आवरण एवं रूबी डोपेंट के कारण गैस उत्सर्जन कम हो जाता है, एवं कणों की संख्या भी कम रहती है… इससे क्लीनरूम क्लास 1–100 में भी उत्पादन संभव हो जाता है। हमने इस बल्ब को 5,000 घंटों से अधिक समय तक लगातार इस्तेमाल किया है… और उत्पादन में 5% से भी कम कमी आई है। फिलामेंट की संरचना ऐसी है कि तापीय परिवर्तनों के बावजूद भी विरोधकता स्थिर रहती है।
उत्पादन में इसका लाभ:
फोटोरेजिस्ट प्रक्रिया में, “नरम बेक” प्रक्रिया से विलायक वाष्पीभूत हो जाता है, जबकि “हार्ड बेक” प्रक्रिया से पैटर्न स्थिर हो जाता है। रूबी बल्ब, दोनों ही प्रक्रियाओं को स्थिर रखता है… तेज़ी से लक्ष्य तापमान तक पहुँचता है, एवं तापमान भी स्थिर रहता है… इससे “स्किन-इफेक्ट” कम हो जाता है, एवं किनारों पर अतिरिक्त उज्ज्वलता भी कम हो जाती है। परिणामस्वरूप, CD नियंत्रण बेहतर हो जाता है, पुनर्कार्य की आवश्यकता कम हो जाती है, एवं उत्पादन की गुणवत्ता भी स्थिर रहती है। ऊर्जा की खपत कम हो जाती है… क्योंकि ऊष्मा आवश्यकतानुसार ही प्रदान की जाती है… इससे प्रति वेफर लागत कम हो जाती है, एवं अप्रत्याशित रुकावटें भी कम हो जाती हैं।
इंस्टॉलेशन संबंधी जानकारी:
इस बल्ब की स्थापना आसान है… लेकिन सही स्थान पर ही इसे लगाना आवश्यक है। बल्ब को निर्धारित फोकल दूरी से ±1 मिमी की दूरी पर ही लगाना चाहिए… ऐसा न करने पर तापमान संतुलन बिगड़ जाता है, एवं स्थानीय रूप से उच्च तापमान उत्पन्न हो जाता है। हर बार रिफ्लेक्टर की स्थिति की जाँच करनी आवश्यक है… एवं नियमित रूप से सॉकेट की सफाई भी आवश्यक है। निर्धारित वोल्टेज से कम वोल्टेज पर इस्तेमाल करने से बल्ब का जीवनकाल बढ़ जाता है… लेकिन इससे बल्ब गर्म होने में अधिक समय लगता है… एवं बेक प्रक्रिया में भी परिवर्तन हो जाता है… इसलिए हर बार निर्धारित वोल्टेज ही इस्तेमाल करना आवश्यक है।