Nelle linee di produzione, anche una variazione di temperatura inferiore a 1°C nella camera di essiccazione può essere sufficiente per rendere interi lotti non utilizzabili. Le wafer escono dalla camera pulita ancora contenenti tracce di umidità; quindi, nelle fasi successive – come la cottura a bassa o alta temperatura o la rimozione delle impurità presenti sui bordi delle wafer – non c’è spazio per eventuali variazioni termiche. Abbiamo progettato il nostro sistema di riscaldamento per adattarsi a questa realtà, invece di cercare di contrastarla a posteriori.
Cosa è importante nel funzionamento del sistema
Il riscaldatore utilizza elementi a infrarossi a onde corte, che reagiscono rapidamente e mantengono una temperatura costante. Nella zona di riscaldamento, l’uniformità della temperatura rimane entro i ±0,1°C, così da evitare variazioni tra un lotto e l’altro. Il sistema è compatibile con ambienti di tipo “cleanroom”, dalla classe 1 alla classe 100: vengono utilizzati materiali con basso livello di emissione di gas, e la superficie del riscaldatore è talmente liscia da non rilasciare particelle. In ambienti qualificati, questi sistemi funzionano 24 ore su 24, senza interruzioni impreviste; inoltre, la ripetibilità della temperatura rimane costante anche dopo migliaia di cicli di funzionamento.
Perché questo sistema funziona bene nella pratica
Il bilancio termico durante le operazioni di essiccazione delle wafer e di cottura del fotorest è molto preciso. Il riscaldatore riesce a raggiungere le temperature richieste senza superarle, permettendo così di ridurre i tempi di ciclo senza rischi per lo spessore del film o per il controllo della sua qualità. L’utilizzo dell’energia infrarossa è efficiente, quindi si riduce il consumo energetico. Inoltre, poiché ci sono meno interventi di manutenzione, è necessario meno materiale di ricambio. Per gli ingegneri addetti alle linee di produzione, ciò significa un aumento del tasso di produzione, un controllo migliore della qualità dei prodotti, e un sistema che soddisfa le esigenze degli impianti semiconduttori, senza la necessità di modifiche alle attrezzature stesse.
Cosa prestare attenzione durante l’installazione
È necessario assicurarsi che la geometria della camera e il flusso d’aria siano adeguati. Forniamo disegni dimensionali, accessori per l’installazione e profili di calibrazione, ma è importante verificare l’interfaccia del dispositivo prima dell’uso. È anche fondamentale mantenere libero il percorso di evacuazione dell’aria, per evitare ricircolazioni, e mantenere l’umidità e i livelli di particolato entro i limiti previsti. È consigliabile eseguire un breve test di collaudo per verificare che tutto funzioni correttamente, prima di iniziare a utilizzare il sistema con fiducia.