Mantenere l’ambiente pulito: riscaldamento per ambienti di tipo Class 100
Nelle fabbriche di semiconduttori, anche la minima traccia di polvere può essere fatale per i wafer. Se si ha bisogno di riscaldare un ambiente di tipo Class 100, non si può semplicemente utilizzare un elemento riscaldante standard, sperando nel meglio. È necessario utilizzare componenti che non emettano fumo o particelle.
Ecco perché utilizziamo lampade a raggi infrarossi in quarzo ad alta purezza, insieme a cavi isolati con Teflon. È l’unico modo per evitare che i gas e le particelle possano danneggiare i prodotti.
Il vantaggio del quarzo ad alta purezza
Utilizziamo quarzo sintetico per queste lampade: semplicemente, non subisce modifiche quando la temperatura varia. Il vetro normale, invece, potrebbe rompersi o iniziare a rilasciare particelle di silice. Non è affatto vantaggioso.
Queste lampade a raggi infrarossi utilizzano radiazioni a breve lunghezza d’onda per riscaldare direttamente il materiale desiderato. Poiché il calore viene distribuito solo dove è necessario, non c’è bisogno di riscaldare l’aria circostante. In questo modo, ci sono meno contaminanti nell’aria intorno all’area di produzione. È più semplice e pulito.
Perché insistiamo sull’uso di Teflon (PTFE)
I rivestimenti in PVC o silicone sono davvero un problema negli ambienti puliti. Quando diventano troppo caldi, iniziano a rilasciare sostanze volatili organiche. Non è accettabile.
Utilizziamo cavi rivestiti in Teflon, poiché il PTFE è sostanzialmente inerte: non si degrada né emette fumo, nemmeno quando le temperature diventano elevate. Rimane stabile, impedendo così la formazione di depositi di carbonio e vapori chimici nello spazio sterile.
Come far funzionare tutto correttamente
Cerchiamo di rendere questi sistemi il più compatti possibile, in modo che la sorgente di calore rimanga vicina al substrato. Ma c’è un problema: il riscaldamento ad alte densità crea punti caldi molto intensi. È necessario quindi progettare correttamente i sistemi di raffreddamento. Se il dissipatore di calore è troppo piccolo rispetto alla potenza della lampada, il calore si diffonderà all’interno del telaio. In tal caso, gli allineamenti precisi verranno compromessi, e sarà necessario ricalibrare tutto durante il fine settimana.
Un ultimo consiglio: utilizzate connettori placcati in oro o in nichel di alta qualità. In questo modo si evita l’ossidazione nei punti di contatto. Niente problemi legati alle scariche elettriche: solo una connessione elettrica affidabile, capace di durare migliaia di ore.