ウェーハ加熱に関する技術サポート

ファブの現場では、ウェーハ全体で0.5℃の温度変動があるだけで、正確なフォトレジストの焼成処理が失敗に終わり、廃棄物が増えてしまいます。私たちは、このような状況を防ぐために、工程内の温度を安定させる加熱プラットフォームを開発しました。 重要なポイント ウェーハ全体で±0.1℃の一定した温度を維持し...