なぜIR加熱において金製の反射器を使用するのか スマートな製造現場では、単に出力を上げるだけでは不十分です。重要なのは、その熱が実際にどこに行くかということです。もし無駄にエネルギーを使ってしまったら、それはコストの無駄になります。だからこそ、私たちは赤外線ランプに金製の反射器を組み合わせているの...

リソグラフィーの工程において、フォトレジストのソフトベイク時に2℃もの温度変動があるというのは、単なる許容範囲を超えたものです。それは、製品の品質が低下する原因となります。ウェーハが溜まり、スケジュールが乱れ、熱制御が不安定になると、粒子数も増加してしまいます。私たちは、プロセスの要件を満たすため...