コーター用現像剤用赤外線ヒーター

リソグラフィーの工程では、温度変動から逃れることはできません。わずかな温度のずれでも、ウェーハ全体にわたって寸法誤差が生じます。コーティング剤を塗布した後の処理工程では、オーブンが温度を安定させる間も停止しません。もしヒーターが設定温度を安定して維持できなければ、フォトレジストの特性が変わり、結果...