真空チャンバー用赤外線ヒーター
なぜ、真空状態で使用される赤外線ヒーターの絶縁性能テストにこだわるのか? 真空チャンバー内で赤外線ヒーターを動作させると、非常に厳しい熱的ストレスがかかります。しかし、実際に最も問題となるのは熱そのものではありません。真の問題は電気漏れです。 真空状態では、絶縁体に少しでも不具合があると、アーク放...
真空対応の赤外線ヒーター
なぜ半導体の硬化処理には真空赤外線が適しているのか
半導体業界もついに「グリーン」で鉛フリーの基準へと移行しつつあります。そうなるのは当然の流れです。長年にわたり、私たちは対流式のオーブンや有害な化学物質を使ってきましたが、これらはエネルギーを無駄にし、ウェーハに汚れを残すだけでした。
このような...