シャードの発生を防ぐ：なぜ反射器の設計が重要なのか 高負荷でウェーハを加熱する際、ランプが壊れるというのは、単なる面倒な問題や予期せぬ停止にとどまりません。それはまさに悪夢です。 石英管が破裂すると、ガラスの破片やハロゲン残留物が直接シリコン上に降り注ぎます。一度でもそうなると、一括でウェーハが台...

ウェーハの硬化処理におけるチューブの破裂という悪夢を防ぐために 半導体製造工場では、たった1つのランプが故障するだけで、大量のウェーハが廃棄されてしまいます。これは大変な被害です。重負荷の下で赤外線チューブが破損すると、単にラインが停止するだけでなく、石英の破片やハロゲンガスが製品上に降り注ぎます...