ウェーハの硬化処理におけるチューブの破裂という悪夢を防ぐために
半導体製造工場では、たった1つのランプが故障するだけで、大量のウェーハが廃棄されてしまいます。これは大変な被害です。重負荷の下で赤外線チューブが破損すると、単にラインが停止するだけでなく、石英の破片やハロゲンガスが製品上に降り注ぎます。
私たちは、そうした事態を防ぐために、信頼性の高い赤外線硬化用ランプを開発しています。
ウェーハを清潔に保つ
ほとんどのチューブは、急激な電力の切り替えによって破損します。それはガラスに過度なストレスがかかるからです。これを解決するために、私たちは熱衝撃に耐えられるように、壁厚が適切に調整された高純度の融合石英を使用しています。また、ハロゲンガスの内部圧力に耐えられるように、ランプの外殻も強化されています。
さらに、安心感を得たい場合は、保護カバーもご用意しています。これはまるで衝撃を吸収するシールドのようなものです。フィラメントが壊れてガラスが割れても、このカバーがすべてを受け止めてくれます。そうすれば、ウェーハは汚れることがありません。
熱対策
高ワット数の電力を小さな空間に詰め込むと、莫大な量の熱が発生します。電源が切れると、熱点ができてしまいます。そして、その熱点がちょうどチューブが破損する箇所になります。
そのため、私たちはランプが非常に狭い電圧範囲内で動作するように設計しています。そうすることで、熱がチューブ全体に均等に分散されます。
しかし、冷却システムも十分に機能しなければなりません。ケースが過度に熱くなると、シール部が劣化し、ランプの寿命が大幅に短くなります。
重要なのは些細な点
私たちは標準的なコネクタやブラケットを使用しています。なぜなら、機械的なストレスが静かな破壊要因だからです。実際、何度もこんなことが起こっています。誰かがランプをハolダーに過度に締め付けてしまい、ストレスの源ができてしまうのです。1回の熱サイクル後に、チューブが破損してしまいます。
私たちのマウントには、ガラスが自然に膨張・収縮できるスペースがあります。
最後に、定期的なメンテナンスの際にこれらの部品を交換してください。絶対に、破損する前に使い続けないでください。ワット数の低下にも注意してください。それが、故障を事前に把握する最も簡単な方法です。