ウェーハ処理における無駄な電力の消費を止めましょう。
正直言って、ファブにおいて電力を無駄にすることは、単にお金を無駄にしているだけです。
一般的なIRランプは効率が悪く、エネルギーがあらゆる方向に放出されます。つまり、消費される電力の半分は無駄になり、製品ではなく空気や機械自体が加熱されてしまいます。
これを解決するために、金を使用します。見た目のためではなく、物理的な原理に基づいてです。石英ケースの裏側に高純度の金層を設置することで、インフラーアレッドエネルギーを前方に向けて送ることができます。
実際の動作原理
金はインフラーアレッド光に対して非常に優れています。波長の98％以上を反射します。
まるで鏡のようです。タングステンフィラメントが発熱すると、金層がその熱を受け止め、直接ウェーハに向けて反射させます。
最良の点は、電力代を増やすことなく、より多くの熱をウェーハに与えられることです。既存の装置を活用しつつ、より効率的に利用できるのです。
デメリット（魔法のようなものはない）
これにより、温度上昇の速度が大幅に向上します。サイクルタイムが短縮され、より多くのウェーハを処理できます。
しかし、すべてのエネルギーを一点に集中させると、ウェーハの端部分が過剰に加熱されます。もし冷却システムが適切でなければ、ホットスポットが発生してしまいます。また、金層の厚みが均一でなければ、ウェーハにストライプ状の模様ができてしまいます。これは誰もが避けたい問題です。
ファブへの導入方法
これらは、既存のIRヒーターの簡単な交換部品として設計されています。全体の設備を再設計する必要はありません。
一度設置すれば、運転電圧を下げてランプの寿命を延ばすか、現在の電圧のままで処理時間を短縮するかの選択肢があります。これにより、1ワットあたりの効果を最大化できます。