クリーンルーム用赤外線ヒーター

シャードの発生を防ぎ、ウェーファーをIRヒーターの故障から守る 正直言って、赤外線ランプが破損するのは本当に最悪な状況です。 重負荷の下でチューブが破損すると、それは単なる「技術的な不具合」ではありません。実際には、石英の破片や化学物質がウェーファー上に降り注ぎます。一度破損すれば、生産効率は大幅...