省エネ型半導体ヒーター
ヒーターが爆発しないようにするための対策
私たちは、極度の高温環境で使用される半導体ヒーターを製造しています。これは非常に過酷な環境です。こうした環境下では、わずかな絶縁不良でも大問題に繋がります。一度だけ漏れが発生すれば、制御ボード全体が破壊されたり、ウェーハが数秒でダメになってしまう可能性があ...
製造工程における乾燥部門のエネルギー診断
長い間、製造現場で働けば、些細なことにも注意を払うようになります。ウェーハの乾燥処理にかかるエネルギーは、スプレッドシートに示されている数値よりも多くなることがあります。また、熱変動によってフォトレジストの品質が損なわれることもあります。私たちはこれらの問題を頻繁に目にします。ソフトベイクやハード...