IRエミッタ用セラミックエンドキャップ
IRエミッター用のセラミック製エンドキャップについて話しましょう。
半導体の硬化処理を行っている方なら、おそらくすでにIRエミッターを使用しているでしょう。これは正しい選択です。鉛フリーで環境に優しい方式を採用することは、単に規則に従うだけではありません。古くて汚れた溶剤ベースの乾燥システムを捨て...
近赤外線 NIR エミッターバルブ
リソグラフィ工程ではドリフトを許容できない。フォトレジストのベイク中に0.3℃の変動が発生すると、300 mmウェハの1バッチ全てを廃棄することになる。プロセスカードが指定する箇所に正確に熱が到達しなければならず、それをシフトごと、ロットごとに繰り返す必要がある。
内部で重要なポイント
近赤外線...