半導体検査装置用ヒーター

ファブフロアでは状況は明白です。検査段階で0.5°Cのドリフトが発生すると、フォトレジストのプロファイルが移動し、CDバイアスが変化、結果としてリワークが必要なロットが発生します。熱は予測不能な要素であってはならず、制御されたプロセスパラメータとして機能しなければなりません。 内部で重要なポイント...